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首臺國產半導體12英寸超精密晶圓模具加工環切設備在甬交付半島彩票

更新時間  2024-01-07 14:29 閱讀

  央廣網寧波12月29日消息(記者 劉欣瑩 通訊員 勞超杰)12月29日上午,由寧波芯豐精密科技有限公司研發生產的國內首臺12英寸全自動超精密晶圓環切設備正式交付。該設備的成功研制半島彩票,不僅填補了國內市場的空白,開啟了中國半導體設備制造新篇章。

  據悉半島彩票,該設備采用高度智能化“控制-自反饋”技術模具加工,實現了對晶圓邊緣的微米級超精密半島彩票加工,全面兼容8寸及12寸晶圓,可滿足最先進的全自動半導體產線及人工智能芯片的研發工藝需求。

  人工智能(AI)領域近年突飛猛進,對工業界和社會生活各方面有深遠影響并創造了巨大的市場需求,同時對于AI芯片的性能、功耗和成本提出更嚴格的要求。三維集成(3D IC)技術是滿足AI需求的核心技術之一,代表著半導體制造的發展熱點和重要方向。該技術通過將多個芯片垂直堆疊在一起,提升性能、降低功耗和制造成本。三維堆疊技術對加工工藝和制造設備都提出了新的挑戰,需要對晶圓在微米級實現超精密環切加工,去除晶圓邊緣部分材料,從而提高芯片良率,可靠性和穩定性。三維集成所涉及的各種不同芯片,包括CPU、GPU、存儲芯片和CIS芯片等多種芯片,在堆疊過程中都必須用到環切設備。

  “環切精度是在深度和寬度都要非常精密的控制,它的控制精度要達到個位數微米級,意味著人類頭發絲的十分之一,這個現在也是我們公司做的數據,達到了國際最先半島彩票進水平,為我們的團隊感到非常驕傲?!睂幉ㄐ矩S精密科技有限公司總經理萬先進告訴記者。

  近年來,芯豐精密成立了以海外專家、985博士為核心的半島彩票技術研發團隊,聚焦三維堆疊技術所需的減薄、環切設備及配套耗材等領域,加大技術攻關,先后申請專利70余項,入選“姚江英才”和 “甬江人才”項目。下一步,這款設備將逐步進入國內頭部半導體產線,為中國半導體制造產業的發展提供強有力的技術支持,助力造就更好的“中國芯”。

  12月29日上午,由寧波芯豐精密科技有限公司研發生產的國內首臺12英寸全自動超精密晶圓環切設備正式交付。該設備的成功研制,不僅填補了國內市場的空白,開啟了中半島彩票國半導體設備制造新篇章。

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